E00500 - SEMI E5 - 半導体製造装置通信スタンダード2 メッセージ内容(SECS-II)

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

SEMI半導体製造装置通信スタンダード2SECS-II)は,インテリジェント装置とホスト間で交換するメッセージの解釈について詳細に定義している。本仕様は,日本電子工業振興協会(JEIDA)の第12委員会の協力により規定された。

SECS-IIは,半導体製造装置通信スタンダード1SECS-I)および,他のメッセージトランスファプロトコルと両立し得るスタンダードである。メッセージトランスファプロトコルについては,§ 6に詳述されている。

個々の装置について最小限の情報でホスト側のソフトウェアが構築できる段階までメッセージ定義を可能とする,これがSECS-IIの目的である。また,装置側もホストについて最小限の情報を持つだけでソフトウェアの構築が可能となる。

SECS-IIで定義するメッセージは,IC製造に要請される典型的な処理をサポートしている。本スタンダードのメッセージ以外の処理をサポートするために,装置毎の特別なメッセージについても定義できるようにしている。通常の処理は,ホストの共通ソフトウェアで扱うことができるが,装置のすべての機能をサポートするためには装置固有のホストソフトウェアが必要となることがある。


SECS-IIは,SECS-Iのようなメッセージトランスファプロトコルを使って,装置とホスト間で交換されるメッセージに,形式と意味を与えている。

SECS-IIは,装置とホスト間でメッセージという形で情報を伝達するための方法を定義している。これらのメッセージは機能により区別され(ストリーム),ストリームの中に複数のメッセージが定義される(ファンクション)。情報の要求とそれに対応するデータの伝送はこの機能の一例である。

SECS-IIは,アイテムとアイテムリストというもので,メッセージの構造を定義している。この構造により,メッセージを正しく解釈するために,データ形式をデータ自身で定義することができる。

メッセージ交換は,トランザクションプロトコルと呼ばれる手順により実行される。SECS-IIを採用する装置に対しては,このトランザクションプロトコル上からの最小限の要求がある。


Referenced SEMI Standards (purchase separately)

SEMI E4 — Specification for SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)
SEMI E6 — Guide for Semiconductor Equipment Installation Documentation
SEMI E37 — High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services
SEMI E148 — Specification for Time Synchronization and Definition of the TS-Clock Object


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