E00600 - SEMI E6 - 半導体製造装置の設置に関する文書のガイド

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本ガイドは,Global Facilities Committeeで技術的に承認されたもので,North American Facilities Committeeが直接責任を負うものである。現版は2002年11月22日にNorth American Regional Standards Committeeにて承認されている。2003年1月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,2003年3月発行に至る。初版は1982年発行,前版は1996年12月発行。

注意: 本文書は2002年,投票によりSEMI E6の全面改訂として承認された。


Referenced SEMI Standards

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E52 — Practice for Referencing Gases Used in Digital Mass Flow Controllers
SEMI E63 — Mechanical Specification for 300 mm Box Opener/Loader to Tool Standard (BOLT)

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