SEMI E15.1 - 300 mm装置ロードポートのための仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2010827日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201010月に www.semi.orgで入手可能となる。初版は1996年に発行,前版は20053月に発行された。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

この仕様が規定しているのは,300 mmウェーハ処理および検査装置のロードポートに関する寸法上の要求事項である。目的としているのは,装置と工場との間の一様な機械的インタフェースを促進すること,自動ウェーハキャリア搬送システムを使いやすくすること,人が積載する装置のための人間工学上の要求事項を満たすこと,である。

 

本スタンダードは,300 mm装置のみを扱っている。200 mm以下のウェーハ用の装置を扱う同様の要求事項は,SEMI E15で扱っている。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E47.1 — Mechanical Specification for FOUPS Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E57 — Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers
SEMI E62 — Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)
SEMI E84 —Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface

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