SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド

Volume(s): Equipment Automation Hardware / Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20116月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1990年発行。前版は200411月発行。

 

このガイドの目的は,マスフローコントローラ(MFCs)漏洩率の記述および測定のための統一された世界的にも通用する方法を確立することである。ガス受渡しシステムの漏洩を完全になくすことは,製品の質および性能を維持するうえで重要なことである。このガイドは,製造者およびユーザの間の混乱と誤解を防止するように考えられている。特に機械的な原因による漏洩率と拡散による漏洩率とを区別している。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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