SEMI E23 - カセット搬送パラレルI/Oインタフェースのための仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1991年発行,前版は2004年11月発行。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

プロセス装置および搬送装置の間のカセットの搬送は,相互に作用する領域内で機械的な操作によって行われ,すばやい応答と信頼できるインタロック信号が必要となる。

 

この仕様の目的は,材料移動のためのSECSスタンダードに補足されるインタフェースメカニズムの制御のための,カセット搬送パラレルインップット/アウトプット (I/O) を用意することである。

 

この仕様は,プロセス装置の一つの部分および搬送装置の一つの部分のような,装置の2つの部分の間のカセット搬送のための,パラレルI/Oインタフェースを取り扱う。

 

このスタンダードは,装置の2つの部分の間のワイヤ接続パラレルI/Oインタフェース,およびプロセス装置と搬送装置の間の光結合パラレルI/Oインタフェースを,定義している。

 

カセット輸送に対するパラレルI/Oインタフェースの適用例を,次に示す。

 

装置の各部分は,SECSインタフェースでホストに接続され,およびその間でカセットの搬送が行われ,装置の2つの部分の各々は,図1に示すようにパラレルI/Oインタフェースにて接続される。

 

カセット搬送の要請,すなわちロード/アンロード命令がSECS-IIメッセージによって通報される。実際のカセット搬送動作は,パラレルI/Oインタフェースを使用して実行され,それは各メカニズムをインタロックする。(パラレルI/Oインタフェースを使用しているカセット搬送処理の例を,関連情報1に示す)。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E1 — Specification for Open Plastic and Metal Wafer Carriers
SEMI E4 — SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)
SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

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Regular price Non-Member Price: $180.00