E02400 - SEMI E24 - クラスタツール・モジュール・インタフェース: 隔離バルブインタロックのスタンダード

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本スタンダードは,Global Physical Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されている。現版は2010430日、Global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20106月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1992年発行、前版は、20047月発行。


注意: 2010年,投票により本文書の撤回が承認された。




影響 本スタンダードは,クラスタツールモジュールサプライヤに,インタロックを備えること,およびインタロックがトリップする状態を定義することを求めている。


Referenced SEMI Standards

SEMI E21 — Cluster Tool Module Interface: Mechanical Interface and Wafer Transport Standard

Related Products
Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00