SEMI E24 - クラスタツール・モジュール・インタフェース: 隔離バルブインタロックのスタンダード

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,Global Physical Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されている。現版は2010430日、Global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20106月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1992年発行、前版は、20047月発行。

 

注意: 2010年,投票により本文書の撤回が承認された。

 

本スタンダードの目的は,材料もしくは装置に,危険な状態もしくは損傷の可能性をもたらすような隔離バルブの開閉を,防止することにある。

 

影響 本スタンダードは,クラスタツールモジュールサプライヤに,インタロックを備えること,およびインタロックがトリップする状態を定義することを求めている。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E21 — Cluster Tool Module Interface: Mechanical Interface and Wafer Transport Standard

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00