SEMI E27 - マスフローコントローラおよびマスフローメータの直線性のガイド

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20116月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1992年発行。前版は,200411月発行。

 

本ガイドラインの目的は,マスフロー装置の製造者とユーザ間の混乱および誤解を防止するために,統一のとれた,世界中に通用する直線性の定義を確立することである。直線性の仕様は,マスフォーコントローラ(MFC)の出力側のレベルが既知である点以外の不明確な出力側の既知レベルに対する予測を行うのに使用される。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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