SEMI E28 - マスフローコントローラの圧力仕様のガイドライン

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2010430日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20106月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1992年発行。前版は200411月発行。

 

本ガイドラインの目的は,マスフローコントローラに関する作業を行う場合に必要な,圧力パラメータを記述するための統一のとれた,世界中に通用する方法を確立することである。それは製造者とユーザ間の混乱及び誤解を防止しようとするものである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E12 — Standard for Standard Pressure and Standard Temperature for Flow Units Used in Mass Flow Meters and Mass Flow Controllers

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00