SEMI E29 - マスフローコントローラ及びマスフローメータの校正のための標準用語
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
Japanese
Type:
Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1993年発行。前版は2004年11月発行。
本スタンダードは，マスフローコントローラ及びマスフローメータの校正のために通常使用される用語を定義する。これらの用語はメーカー及びユーザで広く使用されることを目的にしている。
Referenced SEMI Standards
SEMI E12 — Standard for Standard Pressure and Standard Temperature for Flow Units Used in Mass Flow Meters and Mass Flow Controllers
SEMI E18 — Guideline for Temperature Specifications of the Mass Flow Controller
SEMI E28 — Guideline for Pressure Specifications of the Mass Flow Controller
Member Price:
$135.00
Regular price
Non-Member Price:
$180.00