SEMI E29 - マスフローコントローラ及びマスフローメータの校正のための標準用語

本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1993年発行。前版は2004年11月発行。

本スタンダードは，マスフローコントローラ及びマスフローメータの校正のために通常使用される用語を定義する。これらの用語はメーカー及びユーザで広く使用されることを目的にしている。

SEMI E12 — Standard for Standard Pressure and Standard Temperature for Flow Units Used in Mass Flow Meters and Mass Flow Controllers
SEMI E18 — Guideline for Temperature Specifications of the Mass Flow Controller
SEMI E28 — Guideline for Pressure Specifications of the Mass Flow Controller

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