SEMI E30 - 製造装置の通信およびコントロールのための包括的モデル(GEM)

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

改訂の記録 本書がGEMスタンダードの最初のリリースである。

 

範囲 - GEMスタンダードの範囲は通信リンクを通してみた半導体製造装置の動作を定義することに限られる。ホストと装置の間で交わされるメッセージおよび関連データ項目についてはSEMI E5(SECS-II)スタンダードが定義している。GEMスタンダードは,どのような状況で,どのSECS-IIメッセージを使い,その結果どのような動作が起こるかということを定義する。GEM,SECS-II,および通信のためのその他の選択肢の関係を図1に示す。


GEMスタンダードには通信リンク内でのホストコンピュータの動作を定義しようとする考えはない。ホストコンピュータはいつでも任意のGEMメッセージシナリオを開始することができ,装置はGEMスタンダードに書かれているように応答する。ホストか装置のどちらかがあるGEMメッセージシナリオを開始した場合,ホストが適切なGEMメッセージを使っていれば装置はGEMスタンダードに書かれているとおりに動作する。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E4 — SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)


SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)


SEMI E23 — Specification for Cassette Transfer Parallel I/O Interface


SEMI E37 — High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services


SEMI E139 — Specification for Recipe and Parameter Management (RaP)



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