SEMI E30 - 製造装置の通信およびコントロールのための包括的モデル（GEM） -

Abstract

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免責事項：　このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

GEMはすべての半導体製造装置を対象にSECS-IIの標準的な適用方法を定義している。GEMスタンダードは装置の動作と通信性能の一般的集合を定義しており，それによって半導体デバイス製造業者の行う製造自動化プログラムをサポートするための機能性と柔軟性を得ている。装置サプライヤは，GEMで定義した動作や性能のどれとも矛盾しない限り，GEMに含まれていないSECS-IIの機能を追加することができる。追加されるものとしては，SECS-IIメッセージ，収集イベント，アラーム，リモートコマンド，プロセシング状態，変数データ項目（データ変数，状態変数もしくは装置定数），あるいは，クラス（エッチャー，ステッパーなど）や個別装置の事例ごとに固有の機能性などがある。

GEMはデバイス製造業者と装置サプライヤの双方に経済的な利益をもたらすことを目的としている。装置サプライヤは，大部分の顧客を満足させるようなただ一つのSECS-IIインターフェースを開発して市場に出せることにより利益を受け，デバイス製造業者は，あらゆる製造装置で機能が向上しSECS-IIインターフェースが標準化されることで利益を受ける。標準化によって装置サプライヤとデバイス製造業者のどちらもソフトウエア開発コストを削減できる。コストを減らして機能を向上させることによって，デバイス製造業者は半導体工場の自動化をもっと速く効果的に行うことができる。GEMスタンダードの持つ柔軟性のために，デバイス製造業者は業界で共通な枠組みの中で独自の自動化を実現することが可能になる。

GEMスタンダードでは次のことを明確にしたいと考えている：

• SECS-IIの通信環境のもとで半導体製造装置が公に示す動作のモデル
• 半導体製造環境の中で必要とされる情報とコントロール機能の説明
• 半導体製造装置の持つ基本的なSECS-II通信性能の定義
• ある動作を実行する時に，SECS-IIが複数の可能な方法を提供する場合，その動作を完遂するための一貫した，ただ一つの方法
• 有効な通信性能を達成するための，標準的なメッセージの対話シーケンス

GEMスタンダードの要求条件には2つのタイプがある：

• GEMの基本条件
• GEMの追加性能条件

Referenced SEMI Standards (purchase separately)

SEMI E4 — Specification for SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)

SEMI E5 — Specification for SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E37 — Specification for High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services

SEMI E42 — Recipe Management Standard: Concepts, Behavior, and Message Services

SEMI E139 — Specification for Recipe and Parameter Management (RaP)

SEMI E172 — Specification for SECS Equipment Data Dictionary (SEDD)

SEMI E173 — Specification for XML SECS-II Message Notation (SMN)

 

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