SEMI E30 - 製造装置の通信およびコントロールのための包括的モデル(GEM) -

Member Price: $303.00
Non-Member Price: $403.00

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI E30-0520 - Current



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免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。



改訂の記録 本書がGEMスタンダードの最初のリリースである。


範囲 - GEMスタンダードの範囲は通信リンクを通してみた半導体製造装置の動作を定義することに限られる。ホストと装置の間で交わされるメッセージおよび関連データ項目についてはSEMI E5(SECS-II)スタンダードが定義している。GEMスタンダードは,どのような状況で,どのSECS-IIメッセージを使い,その結果どのような動作が起こるかということを定義する。GEM,SECS-II,および通信のためのその他の選択肢の関係を図1に示す。



Referenced SEMI Standards (purchase separately)

SEMI E4 — SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E23 — Specification for Cassette Transfer Parallel I/O Interface

SEMI E37 — High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services

SEMI E139 — Specification for Recipe and Parameter Management (RaP)

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