SEMI E30 - 製造装置の通信およびコントロールのための包括的モデル(GEM)

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

改訂の記録 本書がGEMスタンダードの最初のリリースである。

 

範囲 - GEMスタンダードの範囲は通信リンクを通してみた半導体製造装置の動作を定義することに限られる。ホストと装置の間で交わされるメッセージおよび関連データ項目についてはSEMI E5(SECS-II)スタンダードが定義している。GEMスタンダードは,どのような状況で,どのSECS-IIメッセージを使い,その結果どのような動作が起こるかということを定義する。GEM,SECS-II,および通信のためのその他の選択肢の関係を図1に示す。


GEMスタンダードには通信リンク内でのホストコンピュータの動作を定義しようとする考えはない。ホストコンピュータはいつでも任意のGEMメッセージシナリオを開始することができ,装置はGEMスタンダードに書かれているように応答する。ホストか装置のどちらかがあるGEMメッセージシナリオを開始した場合,ホストが適切なGEMメッセージを使っていれば装置はGEMスタンダードに書かれているとおりに動作する。

 

Referenced SEMI Standards (purchase separately)

SEMI E4 — SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)


SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)


SEMI E23 — Specification for Cassette Transfer Parallel I/O Interface


SEMI E37 — High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services


SEMI E139 — Specification for Recipe and Parameter Management (RaP)




Related Products
Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00