SEMI E30 - 제조장비제어와 커뮤니케이션을 위한 일반적 모델 -
Abstract
이 표준은기술적으로Global Information & Control Committee 에 의해 승인되었으며, 이 개정판 발행은 2011년 5월 13일 Global Audits & Reviews Subcommittee에 의해 승인되었다. 원본은 1992년에 발행되었고, 이전 개정판은 2003년 11월에 발행되었다.
범위(Scope) — GEM 표준의 범위는 통신 연결 측면에서 반도체 장비의 동작을 정의하는 것으로 제한한다. SEMI E5 (SECS-II) 표준은 호스트와 장비간에 소통되는 메시지와 그에 관련된 데이터의 정의를 규정하며, GEM 표준은 어떤SECS-II 메시지가, 어떤 상황에서 사용되어야 하는지, 그리고 어떤 결과가 도출 되어야 하는지를 정의한다. Figure 1은 GEM, SECS-II 및 기타 통신 대안들간의 관계를 보여준다.
GEM 표준은 통신 연결에서 호스트 컴퓨터의 동작을 정의하지 않는다. 호스트 컴퓨터는 언제든지 GEM 메시지 시나리오를 시작할 수 있으며 장비의 응답은 GEM 표준에 명시된 것이어야 한다. GEM 메시지 시나리오가 호스트나 장비에서 시작된다면, 호스트가 적절한 GEM 메시지를 사용할 경우 장비는 GEM 표준에 명시된 대로 작동하게 된다.
Referenced SEMI Standards
SEMI E4 — SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I) SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II) SEMI E23 — Specification for Cassette Transfer Parallel I/O Interface SEMI E37 — High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services SEMI E139 — Specification for Recipe and Parameter Management (RaP)
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