SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル(ISEM)

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

スタンダードは,global Information and Control Committeeで技術的に承認されている。現版は200912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20092月にwww.semi.orgで,そして20093月にCD-ROMで入手可能となる。初版は19986月,前版は200611月に出版された。

 

本スタンダードでは検査および評価装置(ISEM)のための特定装置モデル(SEM)を確立している。モデルはSEMI E30基本要求条件および追加性能に加えて実装されることになる装置特性および挙動で構成されている。このスタンダードの目的は自動(半導体製造)工場へのISEM装置の設置を促進することである。本文書はファクトリオートメーションコントローラから見たISEM装置のオペレーションモデルを定義することによって目的を達成している。この定義にはスタンダードホストインタフェースおよび装置のオペレーション挙動(例えばコントロール,状態モデル,データ報告,および報告レベルなど)が書かれている。基板パターンマップ,欠陥分類コード管理,および評価データ管理などの項目では,このスタンダードの範囲内の活動がさらに必要とされている。

 

 

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E37 — High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services
SEMI E37.1 — High-Speed SECS Message Services Single-Session Mode (HSMS-SS)
SEMI E58 — Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services
SEMI M20 — Specification for Establishing a Wafer Coordinate System
SEMI M21 — Specification for Assigning Addresses to Rectangular Elements in a Cartesian Array

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