SEMI E30.5 - 計測装置の特定装置モデル

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は20071220日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20082月にwww.semi.orgで,そして20083月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2001年発行,前版は2002年に発行された。

注 1: 本プロダクトの完全な仕様にはSEMI E30の一般的な要求事項が全部含まれる。

本スタンダードでは計測装置(MSEM)のための特定装置モデル(SEM)を確立する。このMSEMは,このクラスの装置に適用する装置特性および挙動で構成され,これらをSEMI E30の基本要求条件および追加性能に加えて,実装することが要求されている。

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E37.1 — High-Speed SECS Message Services Single Selected-Session Mode (HSMS-SS)

SEMI E58 — Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services

SEMI M20 — Practice for Establishing a Wafer Coordinate System

SEMI M21 — Guide for Assigning Addresses to Rectangular Elements in a Cartesian Array

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