E03005 - SEMI E30.5 - 計測装置の特定装置モデル

SEMI E30.5 - 計測装置の特定装置モデル -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI E30.5-0302 (Reapproved 0308) - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2007年12月20日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年2月にwww.semi.orgで，そして2008年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2001年発行，前版は2002年に発行された。

注 1: 本プロダクトの完全な仕様にはSEMI E30の一般的な要求事項が全部含まれる。

本スタンダードでは計測装置（MSEM）のための特定装置モデル（SEM）を確立する。このMSEMは，このクラスの装置に適用する装置特性および挙動で構成され，これらをSEMI E30の基本要求条件および追加性能に加えて，実装することが要求されている。

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E37.1 — High-Speed SECS Message Services Single Selected-Session Mode (HSMS-SS)

SEMI E58 — Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services

SEMI M20 — Practice for Establishing a Wafer Coordinate System

SEMI M21 — Guide for Assigning Addresses to Rectangular Elements in a Cartesian Array

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