SEMI E32 - 材料搬送管理スタンダード(MMM)

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

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免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

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NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

自動材料搬送は半導体製造の自動化の発展においては重要な道標である。搬送工程の標準化は材料搬送自動化の経済性のために重要である。本スタンダードは材料搬送に関する半導体製造設備の通信について記述する。

 

目的

本スタンダードは,半導体工場での自動材料搬送,すなわち,あるプロセス工程や保管場所から他へ,材料および他のものを搬送するという課題について記述する。これは材料搬送の概念,材料搬送に関する(搬送装置も含めた)装置の挙動,および課題を遂行するために必要とされるメッセージサービスについて明らかにしている。

 

範囲

本スタンダードの範囲は,2つの視点から定義される。第1は,含まれる機能の範囲であり,第2は含まれる機能の深さである。

 

Subordinate Standard:

SEMI E32.1-0997 - SECS-II Support for Material Movement

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — Specification for SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II) SEMI E23 — Specification for Cassette Transfer Parallel I/O Interface
SEMI E30 — Specification for Generic Model for Communications and Control of SEMI Equipment (GEM)
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00