SEMI E33 - 半導体製造装置の電磁適合性(EMC)のためのガイド -

Member Price: $155.00
Non-Member Price: $203.00

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI E33-1012 - Superseded



本スタンダードは,global Metrics Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012830日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201210月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1994年発行。

注意: 本文書は,2012年,全面的に改訂された。

本ガイドの目的は,半導体デバイスの製造に使用される半導体製造装置が,電磁障害(EMI: electromagnetic interference)に起因する故障なしに,信頼をもって運転することを確実にする手助けのための推奨である。この望ましい特性は「電磁適合性」(EMC: electromagnetic compatibility)として一般に知られている。



Referenced SEMI Standards

SEMI E78 — Guide to Assess and Control Electrostatic Discharge (ESD) and Electrostatic Attraction (ESA) for Equipment
SEMI F47 — Specification for Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity

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