SEMI E34 - マスフローデバイス返還のためのガイドライン

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本安全ガイドラインは,それの使用に関係する全ての安全事項を取扱うことを主張するものではない。使用前に,適切な安全と健康の為の措置を講じ,適応の際の規定限度を定めることは,本ガイドラインの使用者の義務である。

 

マスフロー機器(マスフローコントローラ,マスフロメーターおよび制御バルブ)が,半導体装置に化学物質の供給システムの構成要素部分として使われる。半導体プロセス装置に使われる多くの化学薬品は,装置および人に対して危険である。これら化学薬品に一度曝され,もし取扱が適切でなければ,汚染されたマスフロー機器は,装置の修理要員および装置に危険を与えるであろう。

 

本ガイドラインに概説した手順を実行することは,ガスもしくは制御用ガスのモニタと制御に使われ,潜在的に危険なマスフローデバイスを,輸送および/もしくは受入れ時に関係したリスクを,減らすためのテクニックを与える。

 

本ガイドラインは次のことを意図している:

取扱い時のリスクを減らすために取外しに先立って,危険物質を使用するデバイスのパージを,推奨し促進すること。

危険の性質に応じて,危険の可能性のあるマスフローデバイスの受入れを警戒すること。

オレンジ色札および健康もしくは安全表示書式を使って,危険な可能性のあるマスフロー機器を適切に識別し,文書で表示するメカニズムを確立すること。

 

Referenced SEMI Standards

None.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00