SEMI E35 - 半導体製造装置のCOO測定方法の計算ガイド

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Metrics Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は20111224日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20123月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年発行。前版は20073月発行。

 

本ガイドの目的は,半導体産業および関連産業における製造装置の単位製造コスト効率を見積もるための,標準測定方法を提供することである。

 

本ガイドは,総合COOcomprehensive cost of ownership),制限付きCOOconstrained cost of ownership),モニタCOOmonitor cost of ownership)の計算機(プログラム)を構築するために必要な定義,分類,アルゴリズム,手段,暫定値を提供することにより,EHS(環境,健康,安全)要因に関連したコストを含めた装置に関連するコスト計算を可能にするための手順を提供するものである。

 

本ガイドは,集積回路(IC)用のウェーハおよびデバイスといった半導体ユニットを処理する任意のタイプの装置に適用できる。また,フラットパネルディスプレイ(FPD),太陽光発電(PV),マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS),高輝度LEDHB-LED),ハードディスクドライブ(HDD),またはその他のタイプの生産ユニットを処理する任意のタイプの装置にも適用し得る。用語によっては,集積回路のウェーハおよびデバイスの製造に特化している。

 

COOモデルを確立するための測定方法を効果的に使用するには,採用したカテゴリの分類内で,限定条件およびデータ値の確認を必要とする。二次モデルからこれらを導いたり,暫定値を使うより,可能な限り実際の数値を入力すべきである。

 

COOを完全に計算するには,しばしば工場全体の歩留りや歩留りによる損失と関連した製造工場独自のデータが必要になる。本ガイドは,工場内の装置の最適化や投資評価,装置設計およびプロセスの改善を図るのに使われることになると思われる。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E10 — Specification for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM) and Utilization
SEMI E81 — Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture
SEMI E89 — Guide for Measurement System Analysis (MSA)
SEMI E149 — Guide for Equipment Supplier-Provided Documentation for the Acquisition and Use of Manufacturing Equipment
SEMI S12 — Guidelines for Equipment Decontamination
SEMI S16 — Environmental, Health and Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment Disposal
SEMI S23 — Guide for Conservation of Energy, Utilities and Materials Used by Semiconductor Manufacturing Equipment

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