E03600 - SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)


·       情報を電子的に交換および配布すること

·       情報を高品質なハードコピーにすることおよびスクリーン上で高品質な表示を行うこと

·       精度の高い一貫したオンライン検索を行うこと,および

·       元の資料をトレーニング資料に統合するアプリケーションおよびオンラインサポートアプリケーションといったアプリケーション用の情報を再利用すること,およびそれに別の目的を持たせること。



Subordinate Document:

SEMI E36.1-0704 - Specification for the Semiconductor Equipment Manufacturing Information Tagging Standard E36


Referenced SEMI Standards


Related Products
Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00