SEMI E40 - プロセス管理スタンダード -

Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.
免責事項：　このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
　

注意:  SEMI E40の年月番号は，SEMI E40.1の再承認を反映して，1111出版サイクルで改訂された。

工場でのオートメーションを実現するためには，装置での材料処理に対する自動化された管理およびコマンドは重要な要素の一つである。このスタンダードは，半導体製造装置内で材料を処理するという側面から，半導体製造環境における通信の要求事項を記載する。

本スタンダードはプロセス実行エージェントが受け入れることができるある材料の処理を行うアプリケーションについて記述する。また，材料を処理する概念，処理に関する装置の動作，および作業を完全に実行するのに必要となるメッセージサービスについて説明する。

本スタンダードにおいてコミュニケーション・サービスを定義することによって，独立したシステムにおいても共通の基準を用いることが可能となる。また，コミュニケーション・サービスの存在を想定することで，アプリケーション・ソフトウェア開発や，それらを提供するソフトウェア製品を開発することが可能となる。

自動化されたプロセス管理の実装により，材料の誤った処理を排除することができる。ここに述べられているスタンダードを適用すれば，準拠する装置のコンポーネントを統合する労力を大きく削減できる。本スタンダードに準拠するには，指定された最低限の一連のスタンダード・サービスが必要である。

Subordinate Standards (included):
SEMI E40.1-1106 (Reapproved 1111) — SECS-II Support for Processing Management Standard

Referenced SEMI Standards (purchase separately)
SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E39.1 — SECS-II Protocol for Object Services Standard (OSS)
SEMI E40 — Standard for Processing Management
SEMI E53 — Event Reporting

 

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