SEMI E40 - プロセス管理スタンダード

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,the Information and Control Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は201364日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20138月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年発行。前版は20123月発行。

 

注意: SEMI E40は,SEMI E40.1の改訂を反映して,0813出版サイクルにて出版年月が更新された。

 

工場でのオートメーションを実現するためには,装置での材料処理に対する自動化された管理およびコマンドは重要な要素の一つである。このスタンダードは,半導体製造装置内で材料を処理するという側面から,半導体製造環境における通信の要求事項を記載する。

 

本スタンダードはプロセス実行エージェントが受け入れることができるある材料の処理を行うアプリケーションについて記述する。また,材料を処理する概念,処理に関する装置の動作,および作業を完全に実行するのに必要となるメッセージサービスについて説明する。

 

本スタンダードにおいてコミュニケーション・サービスを定義することによって,独立したシステムにおいても共通の基準を用いることが可能となる。また,コミュニケーション・サービスの存在を想定することで,アプリケーション・ソフトウェア開発や,それらを提供するソフトウェア製品を開発することが可能となる。

 

自動化されたプロセス管理の実装により,材料の誤った処理を排除することができる。ここに述べられているスタンダードを適用すれば,準拠する装置のコンポーネントを統合する労力を大きく削減できる。本スタンダードに準拠するには,指定された最低限の一連のスタンダード・サービスが必要である。

 

本スタンダードの範囲は,独立したプロセスジョブを基にした自動の材料処理である。これは,クラスタツール内のプロセス管理のための必要機能を提供する。他のマルチリソース装置のサブシステムや,複数タイプの装置に対するホストコントロールにも適用することができる。

 

本スタンダードは,ある材料グループの同一処理に対する個別管理のサポートや,別のグループの並行処理をサポートする。材料が他の材料を含んでいる場合(例えば,キャリアがウェーハを含んでいる場合),処理はどちらの材料のタイプによって指定してもよい。

 

チューニング・メカニズムによる,プロセスステップ間の限定されたフィードフォワードおよびフィードバックコントロールが可能である。これらは,レシピの可変パラメータを利用するという形で定義されている。しかし,これですべてのクローズドループ・コントロールの必要条件が満たされることは期待できない。事後のチューニングと複雑なデータ処理に対するより融通性のある他のメカニズムが必要である。

 

本スタンダードは,処理のための材料を受け取るサービス,あるいは処理が完了した後に払い出すサービスは提供していない。材料移動の自動化は,それに対応したSEMIスタンダードなど,他のサービスにより提供されることを前提としている。

 

本スタンダードは,概念と動作からメッセージサービスにいたるまでの方法を表しているが,メッセージプロトコルは定義していない。

 

メッセージサービスでは,交換されるメッセージおよびそのメッセージに含まれねばならないデータを明確に定義している。メッセージの構造,データがメッセージ中にどのように表されているか,あるいはメッセージがどのように交換されるかについての情報は含まない。この追加情報は,メッセージプロトコルに含まれる。

 

定義されたサービスは,複数のプロトコルに適応される。特別なプロトコルへのプロセス管理サービスのマッピングに関する情報(例,SECS-)は,補助スタンダードとして追加される。

 

サービスは,そのサービスのユーザおよび提供元との間の信頼性のある通信接続を前提にしている。ひとつの通信接続を確立し,持続し,解除することおよび,コミュニケーションの失敗を処理する事はこのスタンダードの範囲外である。

 

Subordinate Document:

SEMI E40.1-0813 — プロセス管理スタンダードへのSECS-のサポート

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)


SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)


SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services


SEMI E39.1 — SECS-II Protocol for Object Services Standard (OSS)


SEMI E40 — Standard for Processing Management


SEMI E53 — Event Reporting



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