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SEMI E40 - 프로세싱 관리 표준 -
Abstract
이 표준은 기술적으로 Global Information & Control Technical Committee에 의해 승인되었으며, 해당 버전의 출판은 2011년 12월 24일 Global Audits and Reviews Subcommittee에 의해 승인되었다. 1995년에 초본이 출판되었고, 이전 버전은 2011년 11월에 출판되었다. 이번 출판본은 www.semiviews.org와 www.semi.org에서 2012년 3월부터 이용 가능하다.
장비에 존재하는 재료 프로세싱의 관리와 명령(command)을 자동화하는것은 공장 자동화를 가능하게 하는 중요한 측면으로, 이 표준에서는 장비내의 재료 프로세싱에 관한 반도체 제조 환경에 필요한 통신을 다룬다.
이 표준은 프로세싱 에이전트가 수신한 지정된 재료에 대해 적절한 프로세싱의 응용 프로그램을 명시하고, 재료 프로세싱(material processing)의 개념, 프로세싱과 관련된 장비의 동작 및 작업(task)을 수행하는데 필요한 메시징 서비스(messaging serives) 들을 설명한다.
여기서 정의하는 통신 서비스는 독립적인 시스템의 표준에 근거하는 상호 운용을 가능하게 하고, 이를 통해 개발되는 응용프로그램이 이러한 서비스의 존재를 추측할수 있게하고 소프트웨어 제품들이 통신서비스를 제공할 수 있도록 개발되게 한다.
자동 프로세싱 관리의 실행으로 재료에 대한 오처리(misprocessing)를 없에고, 명문화된 표준의 적용으로 장비 구성요소의 통합에 필요한 노력을 크게 줄여 프로세싱 설정 시간을 감소시킨다. 준수 해야할 항목은 최소한으로 줄이지만 그 기준은 매우 명확해야만 한다.
이 표준의 범위는 개별 프로세스 잡(processing jobs)에 기반한 자동화된 재료 프로세싱이며, 이는 클러스터 도구 내의 모듈에 대한 프로세싱 관리에 필요한 기능을 제공한다. 다양한 유형의 장비에 대한 호스트 컨트롤(control)뿐만 아니라, 그외 다른 다중-리소스(multi-resource) 설비의 하위 시스템에도 적용된다.
이 표준은 그룹 내에서 재료의 동일한 처리와 독립적인 그룹들의 병렬 프로세싱에 대한 개별적인 작업(jobs) 관리를 지원한다. 재료가 다른 재료를 담는 경우 (웨이퍼를 담는 캐리어와 같은), 각각의 재료 유형에 따라 프로세싱이 명시되어야만 한다.
단순한 튜닝(tuning) 메카니즘은 프로세스 단계 간에 제한적인 피드포워드(feedforward)와 피드백(feedback)을 위해 제공되고, 메소드(Method)가 레시피 가변 매개변수(recipe variable parameters)들을 이용하기 위해 정의되지만, 이들이 모든 폐쇄된 순환 컨트롤(closed loop control) 요구를 만족시킬것 이라고 기대되지는 않는다. 복잡한 데이터의 처리(handling)와 튜닝(tuning) 지연에 대해서는 그외 다른 메커니즘들이 보다 큰 유연성을 갖을 것이라 기대된다.
이 표준은 프로세싱을 위해 재료를 수신하거나, 프로세싱이 완료된 후 재료의 처리(disposing)와 같은 서비스를 제공하지 않는다. 재료 이동 자동화는 다른 적용가능한 SEMI 표준에 정의된 내용들과 같이 본 표준과는 다른 서비스를 통해 제공될 수 있다.
이 표준에서는 장비와 관련된 개념과 동작부터 메시징 서비스를 아우르는 솔루션을 제시하지만 메시징 프로토콜을 정의하지는 않는다.
메시징 서비스는 메시지 교환에 대한 식별과 해당 메시지에 포함된 데이터 정의를 포함하지만, 메시지의 구조에 대한 정보, 메시지내의 데이터 표현 방식, 혹은 메시지 교환 방식을 포함하지는 않는다. 추가적인 정보는 메시징 프로토콜에 포함된다.
정의된 서비스들은 다중 프로토콜에 적용되며, 특별한 프로토콜로 (예: SECS-II) 프로세싱 관리 서비스를 연결하는 정보는 추가적인 부록 표준에서 다뤄지게 된다.
서비스는 서비스 사용자와 서비스 공급자 사이에 신뢰할 만한 연결이 설정되는 통신 환경을 말한다. 서비스는, 설정, 유지, 연결 해제 및, 통신 실패 처리는 이 표준에서 다루지 않는다.
Subordinate Document:
SEMI E40.1-0312 — SECS-II Support for Processing Management Standard
Referenced SEMI Standards
SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II) SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM) SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services SEMI E39.1 — SECS-II Protocol for Object Services Standard (OSS) SEMI E40 — Standard for Processing Management SEMI E53 — Event Reporting
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