SEMI E42 - レシピ管理スタンダード:コンセプト,挙動,およびメッセージサービス

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,Global Information and Control Committeeで技術的に承認されたものでJapanese Information and Control Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004430日にJapanese Regional Standards Committeeにて承認された。20046月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,20047月発行に至る。初版は19959月発行。前版は20002月に出版された。

E 本スタンダード出版に関して編集上19999月付けで修正が行われ,暫定版ではなくなった。修正は1.2項に対して行われた。

 

このスタンダードはレシピ管理に必要とされるコンセプト,レシピ管理スタンダード(RMS)が規定するオペレーションあるいは挙動,および,サービスプロバイダとユーザ間のインタフェースを介してそのサービスを行うのに使われるメッセージを定義する。

 

目的

このスタンダードの目的は二つある:

  • 一体となってレシピ管理を形成するスタンダードのコンセプト,挙動,およびメッセージサービスの存在を前提に,それらを利用したアプリケーションソフトウエアの開発を可能にすること。
  • レシピ管理能力を提供するソフトウエアの開発を可能にすること。

 

範囲

これは,半導体工場内での自動化されたレシピ管理の統合化をサポートするためのコンセプト,挙動,およびサービスを定義するスタンダードである。これらのサービスは,従来のホスト/装置の関係およびクラスタツールコントローラ/付属モジュール通信およびコントロールの関係も含む,さまざまな関係に適用できる。

 

本スタンダードは,システムが半導体製造装置およびシステム内で材料が正しく処理されるようにレシピを転送し,管理することができるような通信サービスを提供する。RMSでは完璧を期するために,SEMI E39(オブジェクトサービススタンダード(OSS):コンセプト,挙動およびサービス)にも準拠することが要求されている。

 

この文書にはいくつかの異なる階層関係が書かれている:監視するものと監視されるもの,レシピとそのサブレシピ,レシピクラスとそのサブクラスなど。こういった階層関係は,電話切り替えシステムやディレクトリツリーといった数多くのさまざまな種類のシステムに反映されている,自然で組織的・分類的な構造を提供する。このスタンダードの意図は,システム構造に厳密な階層関係を実装するよう要求することではなく,むしろ,論理的な階層関係をサポートすることである。

 

Subordinate Document:

SEMI E42.1-0704 — レシピ管理スタンダード(RMS)のためのSECS-II プロトコルスタンダード

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
SEMI E10 — Standard for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM)
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of SEMI Equipment (GEM)
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E42 — Recipe Management Standard: Concepts, Behavior, and Message Services
SEMI E53 — Event Reporting

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