SEMI E46 - イオン移動度分光計(IMS)を使用したミニエンバイロメントからの有機汚染分析の試験方法 -

Member Price: $155.00
Non-Member Price: $203.00

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI E46-0307 - Inactive



NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。


本スタンダードは, Metrics Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2007年1月18日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2007年2月にwww.semi.orgで。初版は1995年発行,前版は2001年3月発行。


NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.


本試験方法の目的は,イオン移動度分光計 (IMS) (構造材料の試験能力を有している)を用いて,ミニエンバイロメントからの有機汚染を分析する手順を提供することである。


本試験方法は,SEMI E108の代替方法として考えられている。SEMI E108と本文書との主な相違点は,SEMI E108が測定技術としてガスクロマトグラフィ/質量分析法と熱脱離との組み合わせに基づく試験方法を規定しているのに対し,本スタンダードは,イオン移動度分析法 (IMS) に基づいていることである。SEMI E108による試験方法と本文書による試験方法の結果は,単位が異なる。








Referenced SEMI Standards

SEMI E19 — Standard Mechanical Interface (SMIF)
SEMI E108 Test Method for the Assessment of Outgassing Organic Contamination from Minienvironments using Gas Chromatography/Mass Spectroscopy

Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.