SEMI E46 - イオン移動度分光計(IMS)を使用したミニエンバイロメントからの有機汚染分析の試験方法

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

本スタンダードは, Metrics Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2007年1月18日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2007年2月にwww.semi.orgで。初版は1995年発行,前版は2001年3月発行。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

本試験方法の目的は,イオン移動度分光計 (IMS) (構造材料の試験能力を有している)を用いて,ミニエンバイロメントからの有機汚染を分析する手順を提供することである。

 

本試験方法は,SEMI E108の代替方法として考えられている。SEMI E108と本文書との主な相違点は,SEMI E108が測定技術としてガスクロマトグラフィ/質量分析法と熱脱離との組み合わせに基づく試験方法を規定しているのに対し,本スタンダードは,イオン移動度分析法 (IMS) に基づいていることである。SEMI E108による試験方法と本文書による試験方法の結果は,単位が異なる。

 

ミニエンバイロメントを通過したり,ミニエンバイロメント中に保管されるシリコンウェーハは,構造材料に起因する有機汚染によって影響を受ける。この汚染についての知識は,半導体製造においてミニエンバイロメントの使用を決定する上での助けとなる。

 

IMSは,表面の有機汚染を測定する,容易で,広汎に使用可能で,ぶれが少なくしかも感度の高い方法であることから,この汚染の測定法として選ばれている。

 

さらに,IMSは,プロセスからの汚染の影響のチェック,化学物質のキャリーオーバー,半導体技術に用いる未来のポリマー素材の特性づけのための可能性を付与する。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E19 — Standard Mechanical Interface (SMIF)
SEMI E108 Test Method for the Assessment of Outgassing Organic Contamination from Minienvironments using Gas Chromatography/Mass Spectroscopy

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00