SEMI E48 - SMIFインデクサ用空間のための仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

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免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本仕様は,Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されたもので,European Equipment Automation Committeeが直接責任を負うものである。現版は2001年4月24日にEuropean Regional Standards Committeeにて承認された。2001年8月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,2001年11月発行に至る。初版は1995年発行,前版は2001年7月発行。

 

本仕様の目的は,単一もしくは多数のポートを持ったツールに,SMIFの統合を可能にするために,ツール内に必要とする空間を用意することである。

 

本仕様は,インタフェース面に関してツール内に必要なスペースを定義する。この仕様は,標準メカニカルインタフェース (SMIF) スタンダード,SEMI E19に言及する。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E19 — Standard Mechanical Interface (SMIF)

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00