E05200 - SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス,ガス混合物および気化して使用する材料の参照表

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20116月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年発行,前版は20103月に発行された。

 

マスフローデバイスで使用される際のガスを順番に並べた参照表となる,半導体産業で使用されるガスに番号を付けた表を提供すること。この表あるいはリストはデジタルマスフローデバイスの製作および使用を簡単にする。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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