SEMI E53 - イベントレポート

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,Global Information and Control Committeeで技術的に承認されたものでJapanese Information and Control Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004430日にJapanese Regional Standards Committeeにて承認された。20046月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,20047月発行に至る。初版は199612月に発行された。

 

装置でのプロセスデータへのアクセスは,半導体製造施設で効率的にプロセスモニタリングとコントロールを行う際には非常に重要なことである。このスタンダードでは半導体装置とセルコントローラあるいはレシピサーバーといった工場内のオブジェクト間の通信の必要性について,タイムリーなデータ収集およびレポートという観点から扱っている。

 

このスタンダードの目的は,装置サプライヤが提供する汎用的なイベントレポートサービスのセットを用意することである。これより高いレベルのアプリケーション領域を扱っている別のスタンダードが本文書全体あるいは一部を参照する場合がある。

 

ここで定義されている通信サービスにより,スタンダードを基本とした,独立システムの相互運用が可能になる。通信サービスによって,このサービスが存在するという前提に立ったアプリケーションソフトウエアの開発が可能になり,このサービスを提供するソフトウエア製品の開発が可能となる。

 

このスタンダードは,あらゆる独立型装置,クラスタモジュール,クラスタツール,工場でのオートメーションセルに適用可能である。スタンダード自体は工場でのあらゆるレベルでのイベントレポートと装置コントロール階層について扱っている。

 

このスタンダードでは有意義な通信とコンピュータ用リソースが必要とされる。そのため,装置内のI/O分布(例えばセンサバス)のレベル以下には適用されない。

 

このスタンダードは定期的なデータレポートおよびイベントへの応答レポートをカバーしている。また問合せに対するレポートについても規定している。

 

このスタンダードはコンセプトおよび挙動からメッセージサービスまでの解決策を提示している。メッセージ送受信プロトコルは定義していない。

 

メッセージ送受信サービスには,メッセージが交換されることを明示し,そのメッセージに含まれているデータの定義を示す。メッセージの構造に関する情報,メッセージ内でデータをどのように表現するか,あるいはメッセージをどのように交換するか,ということは含まれていない。この追加情報はメッセージプロトコルに入っている。定義されたサービスは複数のプロトコルに適用することができる。このサービスを特別なプロトコル(例えばSECS-II)にマッピングすることについての情報は,付属スタンダードに追記されている。

 

サービスは,ユーザとサービスの提供者との間に信頼できる接続が確立されている通信環境を前提としている。通信の確立,維持,開放はこのスタンダードの範囲外である。

 

Subordinate Document:

SEMI E53.1-0704 - イベントレポートスタンダードへのSECS- のサポート

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of SEMI Equipment (GEM)
SEMI E38 — Cluster Tool Module Communications (CTMC)
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E39.1 — SECS-II Protocol for Object Services Standard (OSS)
SEMI E40 — Standard for Processing Management

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