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SEMI E54.9 - TCP/IPでのMODBUS/TCPのためのセンサ／アクチュエータ・ネットワーク通信に関する仕様 -
Abstract
本スタンダードは，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年6月にwww.semi.orgで，そして2008年7月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2000年2月発行，前版は2006年7月に発行された。
注意： 本文書は，SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず，単独で発行および販売される。
本スタンダードはトランスミッション・コントロール・プロトコル／インターネット・プロトコル（TCP/IP）・ネットワークでのModbus/TCPプロトコルに基づく通信仕様を定義する。これは，センサ／アクチュエータ・ネットワーク（SAN）上にあって，半導体製造ツールのSEMI規定の（共通およびデバイス独自の）デバイスモデルに従って作動するインテリジェント・デバイス相互の通信を可能にするものである。
背景および動機
TCP/IP上のModbus/TCPはコンポーネント・レベルのネットワークであり，コントロール・レベルの工業用デバイス（センサおよびアクチュエータなど）およびコントローラなどのハイレベル・デバイスの間の，簡単で高速，そして安価なデータ交換の方法を提供する。TCP/IP上のModbus/TCPが提供するものは下記のとおりである：
- ローレベルなデバイス・ネットワーキングを解決する方法，
- ローレベルなデバイスに存在するインテリジェンスへのアクセス
- よりハイレベルのコントローラ相互のネットワーキング
- マスター／スレーブ通信性能およびピア・ツー・ピア通信性能
Modbus/TCPは通信モデルとプロトコルを規定する。物理層，データ・リンク層，およびネットワーク層の定義は，TCP/IPイーサネットなど，Modbus/TCPプロトコルが組み込まれているネットワークが定義する。
本文書には共通デバイス・ネットワークおよび特定デバイス・ネットワークの明白な構造および挙動をTCP/IPネットワーク上のModbus/TCPへマッピングしたものが記されており，それによってSEMI準拠のSANにあるインテリジェント・デバイス間の通信を可能にする。
本文書はこの半導体装置センサ／アクチュエータ・ネットワークで情報を交換するためにスタンダード準拠のインテリジェント・デバイスがサポートしなければならないプロトコルおよびサービスを規定する。
本文書ではデバイス構造および挙動を外部から明白に表現するためにModbus/TCPプロトコルを利用する方法が規定されている。このデバイス構造および挙動はTCP/IPネットワーク上のModbus/TCPプロトコルに関して共通デバイスモデル（CDM）および該当する特定デバイスモデル（SDM）で規定されているものである。
本文書はSEMIスタンダードSAN共通デバイスモデル仕様，一つ以上のSEMIスタンダード特定デバイスモデル（SDM）仕様（マス・フロー・デバイス用モデルなど），Modicon Modbus Protocol Reference Guide，およびOpen Modbus/TCP仕様と共に使用される。これらは全部Modbus/TCPプロトコル，つまりSEMI準拠のSANシステムでのModbus/TCPネットワーキング機能を利用するデバイスの，外部管理のデータ構造および挙動を記述したものである。
Referenced SEMI Standards
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model
SEMI E54.3 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow Device
SEMI E54.10 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for In-Situ Particle Monitor Device
SEMI E54.11 — Specification Device Model for Endpoint Device
SEMI E54.18 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Vacuum Pump Device
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