SEMI E54.10 - in-situパーティクルモニターデバイスのためのセンサ/アクチュエータネットワーク特定デバイスモデルの仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201111月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は20005月発行。前版は200611月発行。

  

注意: 本文書は,SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず,単独で発行および販売される。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い再承認された。

 

本仕様はセンサ/アクチュエータネットワークのためのSEMIスタンダードのインプリメンテーションを規定する一連のスタンダードの一つである。本仕様の具体的な目的は,半導体装置センサ/アクチュエータ通信ネットワークにあるIn-Situパーティクルモニターデバイスすべてに共通のデバイスオブジェクトで構成されているネットワークに依存しないアプリケーションモデルを記述することである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services


SEMI E54 — Sensor/Actuator Network Standard


SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model



Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00