SEMI E54.10 - in-situパーティクルモニターデバイスのためのセンサ/アクチュエータネットワーク特定デバイスモデルの仕様 -
Abstract
本スタンダードは，global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年11月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年5月発行。前版は2006年11月発行。
注意： 本文書は，SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず，単独で発行および販売される。
注意: 本文書は，編集上の修正を伴い再承認された。
本仕様はセンサ/アクチュエータネットワークのためのSEMIスタンダードのインプリメンテーションを規定する一連のスタンダードの一つである。本仕様の具体的な目的は，半導体装置センサ/アクチュエータ通信ネットワークにあるIn-Situパーティクルモニターデバイスすべてに共通のデバイスオブジェクトで構成されているネットワークに依存しないアプリケーションモデルを記述することである。
Referenced SEMI Standards
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services SEMI E54 — Sensor/Actuator Network Standard SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model
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