SEMI E54.11 - エンドポイントデバイスのための特定デバイスモデル -

Member Price: $155.00
Non-Member Price: $203.00

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI E54.11-1106 (Reapproved 1211) - Superseded



本スタンダードは,global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201112月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2001年発行。前版は200611月発行。


注意: 本文書は,SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず,単独で発行および販売される。


注意: 本文書は,編集上の修正を伴い再承認された。


本仕様はセンサ/アクチュエータネットワークのためのSEMIスタンダードを実装するために規定された一連のスタンダードの一つである。本仕様の具体的な目的は,半導体装置センサ/アクチュエータ通信ネットワーク 上にあるエンドポイントデバイス(EPD)すべてに共通したデバイスオブジェクトで構成される,ネットワークに左右されないアプリケーションモデルを記述することである。


Referenced SEMI Standards

SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services

SEMI E54 — Sensor/Actuator Network Standard

SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model

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