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SEMI E54.14 - PROFINET用センサ／アクチュエータネットワーク通信に関する仕様 -
Abstract
本スタンダードは，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年11月19日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2009年2月にwww.semi.orgで，そして2009年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2005年3月に発行された。
注意： 本文書は，SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず，単独で発行および販売される。
本仕様はSEMIセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）スタンダードの一部であり，PROFINETスタンダードを基本とした特定の通信プロトコルを定義する。本ネットワーク通信スタンダード（NCS）をSEMIセンサ／アクチュエータネットワーク・スタンダード・セットおよびPROFINETスタンダードと合わせると，半導体製造装置においてネットワーク化されたデバイスの既成の相互運用性に対する業界特有のソリューションを提供するオープン・スタンダードが完全かつ明瞭に定義される。
PROFINETとはベンダーから独立した，オープンなフィールドバス・スタンダードで，製造・プロセス・建築の自動化の分野で幅広いアプリケーションに適用される。
PROFINETのアプリケーション・モデルはPROFIBUSのモデルと互換性があり，同じマッピング規則が適用される。
PROFINETは自動化コントロール・システムと分散I/Oの間にデバイス・レベルで高速かつ低コストの接続性を確立できるよう最適化されている。
本文書はSEMI E54.1準拠のPROFINET仕様に基づいたSAN通信スタンダードを規定している。本文書自体は，本スタンダードに準拠するインテリジェント・デバイスがSEMI E39に準拠した方法を使ってSANで情報を交換するためにサポートしなければならないプロトコル，サービス，および挙動を規定している。
本ネットワーク通信スタンダード（NCS）および関連PROFINETスタンダードは，SEMIスタンダードSAN共通デバイス・モデル（CDM）仕様およびSEMIスタンダード特定デバイス・モデル（SDM）仕様（例えばマス・フロー・コントローラ）と共に，ネットワーク上のさまざまなデバイス特有のデータ構造，インタラクション，および挙動について記述している。この混成モデルは半導体製造装置に含まれているインテリジェント・センサ，アクチュエータ，およびコントローラ相互の通信に関する完全な相互運用性スタンダードとなる。
Referenced SEMI Standards
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model
SEMI E54.3 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow Device
SEMI E54.10 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for an In-Situ Particle Monitor Device
SEMI E54.11 — Specific Device Model for Endpoint Devices
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