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SEMI E54.15 - SafetyBUS p用センサ／アクチュエータ・ネットワーク通信に関する仕様 -
Abstract
本スタンダードは，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2007年9月5日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2007年10月にwww.semi.orgで，そして2007年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2005年2月発行，前版は2006年7月に発行された。
注意： 本文書は，SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず，単独で発行および販売される。
本スタンダードは，半導体製造装置におけるSEMI指定の（共通およびデバイス固有の）デバイス・モデルにしたがって動作するセンサ／アクチュエータ・ネットワーク（SAN）上のインテリジェント・デバイス間の通信を可能にするSafetuBUS pプロトコルを基本とした通信仕様を定義する。
背景と動機
SafetyBUS pは，産業デバイス（センサやアクチュエータなど）とコントローラなどのより高いレベルのデバイス（プログラマブルな制御システムなど）との間に単純かつ低コストで早くて決定的なデータ交換手段を提供しながら，信頼性ある動作をサポートする高い優先度レベルでの情報の通信を提供するデバイス・レベル・ネットワークである。SafetyBUS pは以下を提供する。
- 低レベル・デバイスのネットワーク化に対するソリューション
- 低レベル・デバイスに存在するインテリジェンスへのアクセス
- より高いレベルのコントローラとのネットワーク化
- マスター／スレーブおよびピアツーピア通信機能
- デバイスに必須の情報のシリアル通信
SafetyBUS pは，通信モデルおよびプロトコルを定める。物理層およびデータ･リンク層の定義はコントローラ・エリア・ネットワーク（CAN）技術によって定義され，CAN仕様は媒体アクセス制御（MAC）方法論と物理的な信号伝達特性を提供する。
本文書は，共通および特定デバイス・ネットワークの目に見える構造や挙動のSafetyBUS pネットワークに対するマッピングを提供してSEMIに準拠するSAN上にあるインテリジェント・デバイス間の通信を可能にする。
本SafetyBUS p 用ネットワーク通信スタンダード仕様は，SafetyBUS p技術の使用に対する安全ガイドラインを意図するものではない。本文書はSafetyBUS pプロトコルに対するオブジェクト通信仕様（OCS）に基づいてSAN通信スタンダード仕様を定めるものである。本SANはSEMI E54.1に準拠して構成されている。
本文書は，準拠するインテリジェント･デバイスがSafetyBUS p半導体装置センサ／アクチュエータ・ネットワーク上で情報を交換するためにサポートしなければならないプロトコルおよびサービスを定める。
本文書はSafetyBUS pプロトコルの使用を定めてSafetyBUS pネットワーク上の共通デバイス・モデル（CDM）や適切な特定デバイス・モデル（SDM）にて定められた外部から目に見えるデバイス構造や挙動を示す。
本文書は，SEMIスタンダードSAN共通デバイス･モデル仕様，およびSEMIスタンダード特定デバイス・モデル（SDM）仕様（例えばマスフロー・デバイス），およびSafetyBUS pオブジェクト通信仕様参照ガイドに関連して使用される。これらを合わせ，SafetyBUS pプロトコルやSEMI準拠のSANシステム内でSafetyBUS pネットワーク化機能を使用するデバイスの外部から見えるデータ構造と挙動を記述する。
Referenced SEMI Standards
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services (OSS)
SEMI E54 — Sensor/Actuator Network Standard
SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model
SEMI E54.3 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow Device
SEMI E54.10 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for an In-Situ Particle Monitor Device
SEMI E54.11 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for an Endpoint Device
SEMI E54.18 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Vacuum Pump Device
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