SEMI E54.15 - SafetyBUS p用センサ/アクチュエータ・ネットワーク通信に関する仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は200795日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。200710月にwww.semi.orgで,そして200711月にCD-ROMで入手可能となる。初版は20052月発行,前版は20067月に発行された。

 

注意: 本文書は,SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず,単独で発行および販売される。

 

本スタンダードは,半導体製造装置におけるSEMI指定の(共通およびデバイス固有の)デバイス・モデルにしたがって動作するセンサ/アクチュエータ・ネットワーク(SAN)上のインテリジェント・デバイス間の通信を可能にするSafetuBUS pプロトコルを基本とした通信仕様を定義する。

 

背景と動機

 

SafetyBUS pは,産業デバイス(センサやアクチュエータなど)とコントローラなどのより高いレベルのデバイス(プログラマブルな制御システムなど)との間に単純かつ低コストで早くて決定的なデータ交換手段を提供しながら,信頼性ある動作をサポートする高い優先度レベルでの情報の通信を提供するデバイス・レベル・ネットワークである。SafetyBUS pは以下を提供する。

  • 低レベル・デバイスのネットワーク化に対するソリューション
  • 低レベル・デバイスに存在するインテリジェンスへのアクセス
  • より高いレベルのコントローラとのネットワーク化
  • マスター/スレーブおよびピアツーピア通信機能
  • デバイスに必須の情報のシリアル通信

 

SafetyBUS pは,通信モデルおよびプロトコルを定める。物理層およびデータ・リンク層の定義はコントローラ・エリア・ネットワーク(CAN)技術によって定義され,CAN仕様は媒体アクセス制御(MAC)方法論と物理的な信号伝達特性を提供する。

 

本文書は,共通および特定デバイス・ネットワークの目に見える構造や挙動のSafetyBUS pネットワークに対するマッピングを提供してSEMIに準拠するSAN上にあるインテリジェント・デバイス間の通信を可能にする。

 

SafetyBUS p 用ネットワーク通信スタンダード仕様は,SafetyBUS p技術の使用に対する安全ガイドラインを意図するものではない。本文書はSafetyBUS pプロトコルに対するオブジェクト通信仕様(OCS)に基づいてSAN通信スタンダード仕様を定めるものである。本SANSEMI E54.1に準拠して構成されている。

 

本文書は,準拠するインテリジェント・デバイスがSafetyBUS p半導体装置センサ/アクチュエータ・ネットワーク上で情報を交換するためにサポートしなければならないプロトコルおよびサービスを定める。

 

本文書はSafetyBUS pプロトコルの使用を定めてSafetyBUS pネットワーク上の共通デバイス・モデル(CDM)や適切な特定デバイス・モデル(SDM)にて定められた外部から目に見えるデバイス構造や挙動を示す。

 

本文書は,SEMIスタンダードSAN共通デバイス・モデル仕様,およびSEMIスタンダード特定デバイス・モデル(SDM)仕様(例えばマスフロー・デバイス),およびSafetyBUS pオブジェクト通信仕様参照ガイドに関連して使用される。これらを合わせ,SafetyBUS pプロトコルやSEMI準拠のSANシステム内でSafetyBUS pネットワーク化機能を使用するデバイスの外部から見えるデータ構造と挙動を記述する。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services (OSS)
SEMI E54 — Sensor/Actuator Network Standard
SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model
SEMI E54.3 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow Device
SEMI E54.10 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for an In-Situ Particle Monitor Device
SEMI E54.11 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for an Endpoint Device
SEMI E54.18 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Vacuum Pump Device

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