SEMI E54.16 - LONWORKSによるセンサ/アクチュエータネットワーク通信の仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201112月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は20057月発行。前版は200611月発行。

 

注意: 本文書は,SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず,単独で発行および販売される。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い再承認された。

 

本仕様では,半導体製造装置のSEMI指定のデバイスモデル(共通仕様およびデバイス特定)に従って動作するセンサ/アクチュエータネットワーク(SAN)上のインテリジェントなデバイス間の通信を可能とするANSI/EIA/CEA-709.1コントロールネットワーキングプロトコル(LonWorks)に基づいた通信仕様を定義する。

 

本文書では,LonWorksのデバイスに対して確立されたLonMark Interoperability Guidelines LonMark相互運用ガイドライン)を使用したSEMI共通デバイスモデル(CDM)のLonWorksテクノロジへのマッピングを指定する。LonMark International Associationは,このネットワーク通信に関する文書に記載された強化されたSEMI LonMark機能プロファイルを検討,承認し,必要なSEMIプロファイルをLonMarkインテオペラビリティガイドラインに組み込む予定である。

 

背景および動機付け

LonWorks通信システムにより,高速な応答時間の低コストの工業用ネットワークで,センサ,アクチュエータ,コントローラなどのスマートな制御デバイスを相互接続できる。LonWorksにより,複数のデバイスが1つのネットワークを共有し,コントローラ,センサ,アクチュエータ間のポイントツーポイントの配線を大幅に削減できる。LonWorksネットワーク通信スタンダード(NCS)は,7層のANSI/EIA/CEA-709.1LonWorks)プロトコルに基づき,ニューロンチップ,物理層のトランシーバおよびオプションのホストプロセッサによって実装される。ANSI/EIA/CEA-709.1LonWorks)コントロールネットワーキングプロトコルは,Echelonによって開発され,任意のハードウェアプラットフォームに実装するために無償でライセンスできる。LonWorks用のSEMINCSは,LonMark相互運用ガイドラインに基づき,ANSI/EIA/CEA-709.1LonWorks)プロトコルを16層およびアプリケーション層で相互に使用するためのフレームワークを提供する。LonMark相互運用ガイドラインが,SEMI CDMおよびSEMI特定デバイスモデル(SDM)に必要な機能を提供していない場合は,そのガイドラインはSEMI固有の強化されたプロファイル要求条件によって拡張される。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of SEMI Equipment (GEM)


SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services


SEMI E54 — Sensor/Actuator Network Standard


SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model


SEMI E54.3 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow Device


SEMI E54.10 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for an In Situ Particle Monitor Device


SEMI E54.11 — Specification for Sensor/Actuator Specific Device Model for an Endpoint Device


SEMI E54.18 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Vacuum Pump Device



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