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SEMI E54.16 - LONWORKSによるセンサ／アクチュエータネットワーク通信の仕様 -
Abstract
本スタンダードは，global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年12月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2005年7月発行。前版は2006年11月発行。
注意： 本文書は，SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず，単独で発行および販売される。
注意: 本文書は，編集上の修正を伴い再承認された。
本仕様では，半導体製造装置のSEMI指定のデバイスモデル（共通仕様およびデバイス特定）に従って動作するセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）上のインテリジェントなデバイス間の通信を可能とするANSI/EIA/CEA-709.1コントロールネットワーキングプロトコル（LonWorks）に基づいた通信仕様を定義する。
本文書では，LonWorksのデバイスに対して確立されたLonMark Interoperability Guidelines （LonMark相互運用ガイドライン）を使用したSEMI共通デバイスモデル（CDM）のLonWorksテクノロジへのマッピングを指定する。LonMark International Associationは，このネットワーク通信に関する文書に記載された強化されたSEMI LonMark機能プロファイルを検討，承認し，必要なSEMIプロファイルをLonMarkインテオペラビリティガイドラインに組み込む予定である。
背景および動機付け
— LonWorks通信システムにより，高速な応答時間の低コストの工業用ネットワークで，センサ，アクチュエータ，コントローラなどのスマートな制御デバイスを相互接続できる。LonWorksにより，複数のデバイスが1つのネットワークを共有し，コントローラ，センサ，アクチュエータ間のポイントツーポイントの配線を大幅に削減できる。LonWorksネットワーク通信スタンダード（NCS）は，7層のANSI/EIA/CEA-709.1（LonWorks）プロトコルに基づき，ニューロンチップ，物理層のトランシーバおよびオプションのホストプロセッサによって実装される。ANSI/EIA/CEA-709.1（LonWorks）コントロールネットワーキングプロトコルは，Echelonによって開発され，任意のハードウェアプラットフォームに実装するために無償でライセンスできる。LonWorks用のSEMIのNCSは，LonMark相互運用ガイドラインに基づき，ANSI/EIA/CEA-709.1（LonWorks）プロトコルを1～6層およびアプリケーション層で相互に使用するためのフレームワークを提供する。LonMark相互運用ガイドラインが，SEMI CDMおよびSEMI特定デバイスモデル（SDM）に必要な機能を提供していない場合は，そのガイドラインはSEMI固有の強化されたプロファイル要求条件によって拡張される。Referenced SEMI Standards
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of SEMI Equipment (GEM) SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services SEMI E54 — Sensor/Actuator Network Standard SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model SEMI E54.3 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow Device SEMI E54.10 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for an In Situ Particle Monitor Device SEMI E54.11 — Specification for Sensor/Actuator Specific Device Model for an Endpoint Device SEMI E54.18 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Vacuum Pump Device
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