SEMI E54.17 - A-LINKに関するセンサ/アクチュエータネットワークの規定

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201112月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は20057月発行。前版は20067月発行。

 

注意: 本文書は,SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず,単独で発行および販売される。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い再承認された。

 

本文書は半導体製造装置に装備されるセンサ/アクチュエータネットワーク(SAN)上のSEMI E54のデバイスモデルに従って動作するインテリジェントなデバイス間の通信を可能とするA-LINKプロトコルに基づいた通信の規定を定めるものである。

 

本文書はSEMI E54の共通/特定デバイスモデルに基づいたセンサ/アクチュエータデバイス間の相互運用を可能とするものである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services


SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model


SEMI E54.3 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow Device


SEMI E54.10 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for an In Situ Particle Monitor Device


SEMI E54.11 — Specific Device Model for Endpoint Devices



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