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SEMI E54.18 - 真空ポンプ機器専用のセンサ／アクチュエータネットワークのデバイスモデルの仕様 -
Abstract
本スタンダードは，global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年12月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2006年3月発行。前版は2006年11月発行。
注意： 本文書は，SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず，単独で発行および販売される。
注意：本文書は，編集上の修正を伴い再承認された。
本仕様は，センサ／アクチュエータネットワークに関するSEMIスタンダードの実装を規定する一連のスタンダードの一部分として規定するものである。本仕様の目的は特に，ネットワークに依存しないアプリケーションモデルを説明することであり，そのモデルは半導体製造装置のセンサ／アクチュエータ用通信ネットワーク上の真空ポンプデバイス（VPD）すべてに共通なデバイスオブジェクトで構成するものである。
Referenced SEMI Standards
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services SEMI E54 — Sensor/Actuator Network Standard SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model SEMI E52 — Practice for Referencing Gases and Gas Mixtures Used in Digital Mass Flow Controllers
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