SEMI E54.18 - 真空ポンプ機器専用のセンサ/アクチュエータネットワークのデバイスモデルの仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201112月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は20063月発行。前版は200611月発行。

 

注意: 本文書は,SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず,単独で発行および販売される。

 

注意:本文書は,編集上の修正を伴い再承認された。

 

本仕様は,センサ/アクチュエータネットワークに関するSEMIスタンダードの実装を規定する一連のスタンダードの一部分として規定するものである。本仕様の目的は特に,ネットワークに依存しないアプリケーションモデルを説明することであり,そのモデルは半導体製造装置のセンサ/アクチュエータ用通信ネットワーク上の真空ポンプデバイス(VPD)すべてに共通なデバイスオブジェクトで構成するものである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services


SEMI E54 — Sensor/Actuator Network Standard


SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model


SEMI E52 — Practice for Referencing Gases and Gas Mixtures Used in Digital Mass Flow Controllers



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