SEMI E54.19 - MECHATROLINKに関するセンサ/アクチュエータネットワークの仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は20071220日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20082月にwww.semi.orgで,そして20083月にCD-ROMで入手可能となる。初版は20073月に発行された。

 

注意: 本文書は,SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず,単独で発行および販売される。

 

この仕様書は,半導体製造装置におけるセンサ/アクチュエータネットワーク(SANSEMI E54のモデルに沿って,MECHATROLINKを使用したインテリジェントな機器間における通信の仕様を定義する。

 

この仕様書は,SEMI E54 センサ/アクチュエータ機器の,共通/特定デバイスモデルに基づいた,相互接続性について定義する。

 

この仕様書は,センサ/アクチュエータ/コントローラ機器が,制御機器の一部としてどのようにMECHATROLINKの公開通信仕様の§4で定義される仕様に対応するかを規定する。

 

この仕様書は,SEMI E54の主要な部分である,共通デバイスモデル(CDM)と規定済みの特定デバイスモデル(SDM)との関係を定義する。この仕様書は,CDMの仕様書といくつかのSDMの仕様書,およびMECHATROLINKで公開されている仕様書と合わせて使用される。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model
SEMI E54.3 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow Device
SEMI E54.10 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for an In-situ Particle Monitor Device
SEMI E54.11 — Specific Device Model for Endpoint Devices
SEMI E54.18 — Specific Device Model for Vacuum Pump Devices

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00