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SEMI E54.20 - EtherCAT用センサ／アクチュエータネットワーク通信に関するスタンダード -
Abstract
本スタンダードは，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年8月29日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年10月にwww.semi.orgで，そして2008年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2007年11月に発行された。
注意： 本文書は，SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず，単独で発行および販売される。
本仕様はSEMIセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）スタンダードの一部であり，EtherCATスタンダードを基本とした特定の通信プロトコルを定義する。本ネットワーク通信スタンダード（NCS）をSEMIセンサ／アクチュエータネットワーク・スタンダード・セットおよびEtherCATスタンダードと合わせることにより，半導体製造装置内のネットワークに接続される機器（デバイス）を新たに開発する手間をかけずに相互に利用できる，業界に特化したソリューションを提供するオープン・スタンダードが完全かつ明瞭に定義されるものである。
EtherCATとはベンダーから独立した，オープンなフィールドバス・スタンダードで，製造・プロセス・建築の自動化の分野で幅広いアプリケーションに適用され，EtherCAT Technology Group によってサポートされている（ETG，http://www.ethercat.org 参照）。
EtherCATのアプリケーション・モデルはCANopenの同モデルと互換性があり，同じマッピング規則が適用される。
EtherCATは自動制御系と分散配置されるI/Oとの間に機器（デバイス）レベルの，高速かつ低コストの接続が可能なよう最適化されたものである。
本文書はEtherCAT仕様に基づきながらも，SEMI E54.1に準拠するSAN通信スタンダードを規定するものである。本文書自体は，本スタンダードに準拠するインテリジェント・機器(デバイス)がSEMI E39と同様の考え方でSANを介して情報を交換する際にサポートしなければならないプロトコル，サービス，および挙動を規定している。
本ネットワーク通信スタンダード（NCS）および関連EtherCATスタンダードは，SEMIスタンダードSAN共通機器(デバイス)・モデル（CDM）仕様およびSEMIスタンダード特定機器(デバイス)・モデル（SDM）仕様（例えばマス・フロー・コントローラ）と共に，ネットワーク上のさまざまな機器(デバイス)特有のデータ構造，やりとりと相互作用，および挙動について記述している。この組み合わせのモデルは半導体製造装置内部のインテリジェントなセンサ，アクチュエータ，およびコントローラに拘る通信に関して相互に置換可能となるようなスタンダードの完成形となる。
Referenced SEMI Standards
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model
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