E05421 - SEMI E54.21 - MOTIONNET®用センサ/アクチュエータネットワーク(SAN)通信に関する仕様

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本スタンダードは,global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2010120日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20102月にwww.semi.orgで入手可能となる。

注意:本文書は,SEMI E155に替わるものである。

本文書は半導体製造装置に装備されるセンサ/アクチュエータネットワーク(SAN)上のSEMI E54のデバイスモデルに従って動作するインテリジェントなデバイス間の通信を可能とするMOTIONNET®プロトコルに基づいた通信の規定を定めるものである。

本文書はSEMI E54の共通/特定デバイスモデルに基づいたセンサ/アクチュエータデバイス間の相互運用を可能とするものである。

Referenced SEMI Standards

SEMI E54 — Sensor/Actuator Network Standard
SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model
SEMI E54.3 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow Device
SEMI E54.10 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for an In Situ Particle Monitor Device
SEMI E54.11 — Specific Device Model for Endpoint Devices
SEMI E54.18 — Specification for Sensor/Actuator Specific Device Model for Vacuum Pump Device

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