E05600 - SEMI E56 - 熱マスフローコントローラの精度，直線性，リピータビリティ，短期再現性，ヒステリシス（履歴現象）およびデッドバンドを判断するテスト方法

SEMI E56 - 熱マスフローコントローラの精度，直線性，リピータビリティ，短期再現性，ヒステリシス（履歴現象）およびデッドバンドを判断するテスト方法 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI E56-1296 - Superseded

Revision

Abstract

　

本ドキュメントの目的は，熱マスフローコントローラの精度，直線性，リピータビリティ，短期再現性，ヒステリシスおよびデッドバンドを定量化するための標準化された方法を提供するものである。

　

本ドキュメントの意図は，特殊なテストプログラムを提案することでなく，ここに含まれているパラメータをテストをする時に使用するテスト方法を定めることにある。ユーザは，厳しくコントロールされたテスト条件に基づいて精度や精密度，バイアス（歪み），直線性，短期再現性およびデッドバンドを調べるためにこのドキュメントを利用することができる。

　

本方法において精度を計算する意義は，マスフローコントローラ（MFC）の1人のユーザが1つのプロセスにおいてある製造装置から別の装置へと移動すること，そしてプロセスコントロールをする間に1台の製造装置内でMFCを交換することを可能にすることにある。

　

本ドキュメントは熱マスフローコントローラ（MFC）の精度，直線性，リピータビリティ，ヒステリシスおよびデッドバンドをテストするための条件および手順を説明する。本ドキュメントの包括的な性格により，テストのすべての手順がすべての種類のMFCに適用するとは限らない。

　

本ドキュメントはメーカーとユーザとの間のコミュニケーションの共通基盤を提供するものである。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI E17 — Guideline for Mass Flow Controller Transient Characteristics Tests

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