E05700 - SEMI E57 - 300 mmウェーハキャリアの位置決めおよび支持のために使用されるキネマティックカプリングの機械仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本スタンダードは,global Physical Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されている。現版は2010827日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201010月に www.semi.orgで入手可能となる。初版は1996年に発行,前版は20053月に発行された。


本スタンダードは,300 mm径ウェーハキャリア(搬送用カセット,プロセスカセット,クォーツボート,ポッド,ロットボックス,シッピングボックスを含む)を人間工学的に設置し,正確に支持するのに使用される,自動位置決め機構であるキネマティックカプリングを規定する。これらのキネマティックカプリングは次のようなインタフェースにおいて使用される。

·        ボックスまたはカセットと装置ロードポートまたは搬送装置との間

·        搬送用カセットとボックスとの間

·        プロセスカセットまたはクォーツボートとプロセスチェンバーの底面との間



Referenced SEMI Standards

SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E19 — Standard Mechanical Interface (SMIF)
SEMI E19.4 — 200 mm Standard Mechanical Interface (SMIF)

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