SEMI E58 - 自動化による信頼性,有用性,および整備性に関するスタンダード(ARAMS):コンセプト,挙動,およびサービス

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

本仕様は, Information & Control Global Technical Committeeで技術的に承認されたもので,North American Information & Control Committeeが直接責任を負うものである。現版は2000年10月19日にNorth American Regional Standards Committeeにて承認された。2001年1月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,2001年3月発行に至る。初版は,1997年6月発行。

注意:SEMI E58は2003年7月にサブドキュメントSEMI E58.1が再承認されたため改訂年月が更新された。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

本文書ではSEMI E10に従った装置レベルでのSEMI E10の状態の変化を実装および収集するためのスタンダードが提供されている。

 

SEMI E10ではさまざまな用語および装置状態が定義されているが,特に自動化された装置によるアプリケーションのために書かれているわけではない。本文書の目的は正式な状態モデル手法を用いてそういった装置状態に一貫した解釈を与えることである。

 

ARAMSでは半導体工場内の自動化されたシステムの統合をサポートするためのコンセプト,挙動,およびメッセージサービスを定義する。

 

背景および動機

自動化された装置でのSEMI E10状態の統合を果たすためには,定義および要求事項の統合を詳細かつ正確にして,装置サプライヤを問わず解釈が一貫するようにしなければならない。これによって装置自体が情報を自動的に保持するチャンスが与えられる。

 

一貫した状態モデルを応用して装置でSEMI E10データ収集を自動的に行うことによって装置サプライヤと装置ユーザの双方が利益を得る。

 

SEMI E10では特定の状態を定義するが,状態間の遷移は扱っていない。ARAMSスタンダードは自動化された装置によって行われる状態遷移のトリガーも規定する。本文書に記されているSEMI E10の拡張は自動化された装置によって下された決定にだけ適用される。

 

このスタンダードは以下の関係に適用される。従来のホスト/装置,オペレータ/装置,およびクラスタツールコントローラ/付属モジュール。本文書の範囲は,装置レベルでのSEMI E10関連データの補足および通信を簡単にするスタンダードを定義することである。特に,本文書は下記のことを提供する:

  • 装置状態変更のための規則を定義する装置状態モデル
  • SEMI E10で定義されている6つの基本的装置状態の下位状態を表すための標準装置コード
  • 装置が生成するデータの定義
  • 情報を交換するために必要なコンセプトおよびメッセージ
  • ARAMSに準拠するための基本的な要求事項
  • オプションの追加性能要求

 

このスタンダードはSEMI E10の補足として,装置がSEMI E10をサポートするために使われることを目的とする。両方の文書に共通して使われている用語すべての正式な定義はSEMI E10にだけ書かれている。

 

Subordinate Standard:

SEMI E58.1-0697 (Reapproved 0703) - 自動化による信頼性,有用性,および整備性に関するスタンダード(ARAMS): コンセプト,挙動,およびサービスのためのSECS- プロトコル

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E10 — Standard for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM)
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of SEMI Equipment (GEM)
SEMI E38 — Cluster Tool Module Communications (CTMC)
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E41 — Exception Management (EM) Standard
SEMI E42 — Recipe Management Standard: Concepts, Behavior, and Message Services
SEMI E53 — Event Reporting

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