E06200 - SEMI E62 - 300 mmフロントオープニング・メカニカルインタフェース（FIMS）の仕様

SEMI E62 - 300 mmフロントオープニング・メカニカルインタフェース（FIMS）の仕様 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI E62-1106 (Reapproved 0512) - Inactive

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Physical Interfaces & Carriers Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年5月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年発行。前版は2006年11月発行。

　

注意: 　本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

　

本スタンダードは，プロセス装置または測定装置とフロントオープニング・ボックスとのインタフェースについて装置側の要求事項について規定する。

　

本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにおいて，モジュール性と互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。物理的インタフェースだけが規定されており，材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染限度は示されていない。本スタンダードに規定されたインタフェースは，密閉されたミニエンバイロメント用途を意図しているが，単にうまく設計された自動化インタフェースであるとの解釈でも構わない。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E19 — Standard Mechanical Interface (SMIF)
SEMI E47.1 — Mechanical Specification for Boxes and Pods Used to Transport and Store 300mm Wafers
SEMI E57 — Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers
SEMI M31 — Mechanical Specification for Front-Opening Shipping Box Used to Transport and Ship 300 mm Wafers

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