SEMI E62 - 300 mmフロントオープニング・メカニカルインタフェース(FIMS)の仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Physical Interfaces & Carriers Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は20111224日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20125月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年発行。前版は200611月発行。

 

注意:  本文書は,編集上の修正を伴い,再承認された。

 

本スタンダードは,プロセス装置または測定装置とフロントオープニング・ボックスとのインタフェースについて装置側の要求事項について規定する。

 

本スタンダードが意図しているのは,すべてのメカニカルインタフェースにおいて,モジュール性と互換性を確保しながら,技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。物理的インタフェースだけが規定されており,材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染限度は示されていない。本スタンダードに規定されたインタフェースは,密閉されたミニエンバイロメント用途を意図しているが,単にうまく設計された自動化インタフェースであるとの解釈でも構わない。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E19 — Standard Mechanical Interface (SMIF)
SEMI E47.1 — Mechanical Specification for Boxes and Pods Used to Transport and Store 300mm Wafers
SEMI E57 — Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers
SEMI M31 — Mechanical Specification for Front-Opening Shipping Box Used to Transport and Ship 300 mm Wafers

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