SEMI E63 - 300 mmボックスオープナ/ローダーと装置間のスタンダード(BOLTS-M)インタフェースの機械的仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Physical Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されている。現版は2010827日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201010月に www.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年に発行,前版は200411月に発行された。

 

本スタンダードは,プロセス装置または測定装置においてボックスを開け,300 mmウェーハのアンロードおよびロードのためにウェーハハンドラにウェーハを渡すための装置側の機械的インタフェースを規定する。ボックスオープナとローダーユニットは1つ以上の(SEMI E15.1に準拠した)ロードポートを有すると共に,空容器あるいは(装置のスループットを上げるための)待ちロット用のストッカーを有することもある。ボックスオープナ/ローダーユニットは(SEMI E47.1, SEMI E62に準拠した)ボックスあるいはポッドを扱うだけでなく(SEMI E1.9に準拠した)オープンカセットを扱う。本スタンダードはそれらの種類ならびにキャリア容量(13枚と25枚の)をひとつのインタフェース規格によって規定する。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E19 — Standard Mechanical Interface (SMIF)
SEMI E47.1 — Mechanical Specification for FOUPS Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E57 — Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers
SEMI E62 — Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)

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