SEMI E64 - SEMI E15.1ドッキングインタフェースポートと300 mmカートの仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは, Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年5月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年発行。前版は2005年11月発行。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い,再承認された。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

本仕様は,キャリア搬送カートとのドッキングインタフェースの設置に使用するSEMI E15.1準拠装置の標準位置および要件を定義する。本仕様のねらいは,キャリア搬送カートとSEMI E15.1適合ウェーハプロセスあるいは検査機器間のインタフェースの一貫した位置決めを容易にすることにある。

 

本標準は300 mm SEMI E15.1適合ツールに限り適用される。他のツールに対する類似の要件はここでは規定していない。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00