SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法 -
Abstract
本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年11月発行。
本テストの目的は，高純度ガスシステムでの使用を意図したマスフローコントローラにより，パーティクル発生を測定することである。
Referenced SEMI Standards
SEMI E29 — Terminology for the Calibration of Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters
SEMI F1 — Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping Systems and Components
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E06600 - SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法
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