E06600 - SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法

SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI E66-0611 - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年11月発行。

本テストの目的は，高純度ガスシステムでの使用を意図したマスフローコントローラにより，パーティクル発生を測定することである。

Referenced SEMI Standards

SEMI E29 — Terminology for the Calibration of Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters

SEMI F1 — Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping Systems and Components

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