SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20116月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は200311月発行。


Referenced SEMI Standards

SEMI E29 — Terminology for the Calibration of Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters

SEMI F1 — Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping Systems and Components

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Regular price Non-Member Price: $180.00