SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20116月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は200311月発行。

 

本テストの目的は,高純度ガスシステムでの使用を意図したマスフローコントローラにより,パーティクル発生を測定することである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E29 — Terminology for the Calibration of Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters


SEMI F1 — Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping Systems and Components



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