SEMI E67 - マスフローコントローラの信頼性測定のためのテスト方法

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201110月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は19979月発行。前版は20043月発行。

 

注意: 本文書は2011年に全面改訂された。

 

本文書で説明する方法は,マスフローコントローラ(MFC mass flow controller)にその寿命を通じてメーカーの公表した仕様を満たすだけの機能が備わっているかどうかを調べるのに役立つ。テスト結果は,複数のMFCの比較を行う上でも有益である。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E17 — Guideline for Mass Flow Controller Transient Characteristics Tests
SEMI E66 — Test Method for Determining Particle Contribution by Mass Flow Controllers
SEMI E69 — Test Method for Determining Reproducibility and Zero Drift for Thermal Mass Flow

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