SEMI E72 - 300 mm装置の床面積,高さ,重量の仕様ならびにガイド

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本仕様は,Global Physical Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されたもので,North American Physical Interfaces & Carriers Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004年12月10日North American Regional Standards Committeeにて承認されている。2005年2月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,2005年3月発行に至る。初版は1998年発行,前版は2000年6月発行

 

現在,デバイスメーカーは,装置の体積が予想不可能なため,ファブの計画あるいは変更を容易には行なうことができないでいる。同様に,装置のサプライヤも,あまりに多くの構成があるためファブデザインを予測することができないでいる。一般に,ファブのスペース利用は効率よく行なわれておらず,スペース効率と整備のしやすさの間には相殺的な関係があるように思われる。本スタンダードは,装置設計のガイドラインであり,また,装置の容積と重量の限度に関する仕様である。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port

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