E07200 - SEMI E72 - 300 mm装置の床面積,高さ,重量の仕様ならびにガイド

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本仕様は,Global Physical Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されたもので,North American Physical Interfaces & Carriers Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004年12月10日North American Regional Standards Committeeにて承認されている。2005年2月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,2005年3月発行に至る。初版は1998年発行,前版は2000年6月発行


Referenced SEMI Standards

SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port

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