SEMI E77 - マスフローコントローラの換算率の代用ガス使用による計算方法

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2010430日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20106月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1998年発行。前版は200411月発行。

 

本試験方法の目的は,1台のMFCがガスを他のガスに変更したとき,公称平均換算率およびそのMFCの流量関数としての換算率を定量化することである。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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