E07700 - SEMI E77 - マスフローコントローラの換算率の代用ガス使用による計算方法

SEMI E77 - マスフローコントローラの換算率の代用ガス使用による計算方法 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI E77-1104 (Reapproved 0710) - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1998年発行。前版は2004年11月発行。

 

本試験方法の目的は，1台のMFCがガスを他のガスに変更したとき，公称平均換算率およびそのMFCの流量関数としての換算率を定量化することである。

　

Referenced SEMI Standards

None.

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