SEMI E80 - マスフローコントローラの姿勢感度(取付位置)決定の試験方法

Volume(s): Equipment Automation Hardware / Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2010430日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20106月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1999年発行。前版は200411月発行。

 

本試験方法の目的は,MFCに関わる取付姿勢の影響を定量化する標準方法を提供することである。

 

本文書は,MFCの取付けの影響を試験し,記述することに関し,メーカーとユーザ間のコミュニケーションに共通のベースを提供するものである。

 

Referenced SEMI Standards

None.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00