SEMI E82 - 工程間/工程内AMHS SEMの仕様(IBSEM)

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012221日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20126月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1999年発行。前版は200611月発行。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い,再承認された。

 

本スタンダードは工程内AMHS搬送装置の個別装置モデル(SEM)を確立するものである(IBSEM)。モデルは装置特性および動作で構成されており,それらはSEMI E30の基本要求および追加選択性能と共に実装される予定である。本スタンダードの趣旨は自動化された(半導体製造およびフラットパネルディスプレイなど)工場へのIBSEM準拠の搬送装置の統合を容易にすることである。本文書では工場自動化コントローラ(ホスト)から見たIBSEM準拠の搬送装置の運用モデルを定義して趣旨を実現している。ここでは標準化されたホストインタフェースおよび搬送装置の運用動作(コントロール,状態モデル,データ報告,報告レベルなど)が定義されている。本スタンダードの範疇の課題のいくつかに関しては今後も活動を続ける必要がある。その課題とはトラフィック管理特性(キューイング),キャリア移載のためのパラレルインタフェース(SEMI E23),搬送システムコントローラアーキテクチャ,および搬送単位の配送などである。

 

本スタンダードの範囲は(§13に規定してある)GEMモデルに準拠するSEMI装置通信スタンダード2SECS-II)によってホストが認識する工程間,工程内AMHS搬送装置(OHTOHSRGTAGTDWC)の使用法および説明に限定されている。本スタンダードはSECS通信リンクを通じて搬送装置がどのように見えるかを定義しているが,搬送装置の内部オペレーションは定義していない。ここにはこのクラスの搬送装置すべての基準として個別TRANSFERコマンド状態モデルおよび搬送装置側システムコントローラ状態モデルが含まれている。

 

本文書では(§13に規定されている)GEM基本要求および追加選択性能はIBSEM準拠の搬送装置にすでに実装されているものとみなす。ここでは状態モデル(TSCTRANSFERコマンド,台車およびキャリア状態モデル),収集イベント,アラームドキュメント,リモートコマンド,変数データアイテム,および材料搬送の領域でGEMスタンダード要求および性能が拡張されている。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E4 — SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)
SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
SEMI E23 — Specification for Cassette Transfer Parallel I/O Interface
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E32 — Material Movement Management (MMM)
SEMI E37 — High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services
SEMI E84 — Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface

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