SEMI E83 - PGVメカニカルドッキングフランジの仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは, Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2014512日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20147月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は19996月発行。前版は20134月発行。

 

これは,パーソンガイデッドビークル(PGV)とロードポートを有する装置間のインタフェースの互換性をさらに推進するものである。

 

本仕様は,PGVに使用されるドッキングフランジの静止(装置)側の機械的仕様を規定する。このフランジは,ロードポートの標準により定められた領域内で床に取り付けられる。これらの標準は,次のものに限定されない:SEMI E15.1SEMI G82 ロードポート(300mm用)およびSEMI 154 450mmウェーハキャリア用)のSEMI E64の排除領域。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E64 — Specification for 300 mm Cart to SEMI E15.1 Docking Interface Port
SEMI E154 — Mechanical Interface Specification for 450 mm Load Port
SEMI G82 — Provisional Specification for 300 mm Load Port for Frame Cassettes in Backend Process

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